卧式真空扩散炉

可配工艺管数量：

1-4管系统

净化台洁净度： 

100级（10000级厂房） 

气体流量控制： 

均用MFC控制 

送取片方式： 

自动推拉,采用Sic浆推拉舟方式 

使用类型：

3-6寸炉管

工作温度： 

600～1290℃ 

炉管有效口径:

￠150-240mm

总功率：T

18-28KVA/管   保温功率：8-15KVA/管 

三相五线制： 

380V±10%，50Hz±10%，次级线不小于35平方高温线 

报警:

具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能 

恒温区长度及段数： 

400-1100mm（3-5段控温） 

控温精度： 

±0.5℃（≧1000℃） 

单点温度稳定性： 

±1℃/12h

控温方式： 

工控机 + PLC控制 + 触摸屏 

热偶类型:

热电偶采用S/R型，每管Spike 4-10支热偶 

真空度： 

5*10-2MPa

最大可控升温范围： 

(500～1290℃)0—15℃/min

最大可控降温范围： 

(1290～500℃)0—10℃/min

工艺气体：

N2/H2/Ar/O2(可根据工艺要求选配） 

真空机组：

采用直连机械泵+罗茨泵(可根据工艺要求选配） 

冷却水：

压力0.2—0.4MPa 

设备总外形尺寸： 

根据设备配置不同,尺寸有所不同 

2、

加热系统

3、

排风冷却系统

4、

排毒箱（和设备主机做为一体）

5、

净化工作台

6、

控制系统

7、

自动Sic浆推拉舟机构

8

真空系统