扩散炉腔体的制作方法

编辑：青岛育豪微电子设备有限公司时间：2018-01-12

随着全球能源日趋紧张，太阳能成为新型能源得到了大力开发，太阳能电池作为绿色环保的清洁能源，安装量与日俱增。扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉在太阳能电池链式扩散工艺中扮演着非常重要的角色。在太阳能电池链式扩散工艺中，选择磷酸作为扩散源，在整个扩散工艺的前道工序中，磷酸通过喷涂机均匀喷涂在硅片表面，然后硅片通过传动机构进入扩散炉，这样硅片表面的磷酸会在扩散炉升温阶段挥发，从而附着在扩散炉腔体上方保温材料的表面，并且在高温下保温材料会被磷酸腐蚀而掉落，会影响电池片的表面外观以及电性能，目前的方法是在扩散炉腔内保温材料下安装一块二氧化硅板，这样可以在短期内防止保温材料被磷酸腐蚀，但是长期情况下二氧化硅板同样会被腐蚀，从而依然有异物掉落，没有从根本上解决问题。
为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种能够保证电池片的外观和电性能稳定性扩散炉腔体。

青岛育豪微电子设备有限公司生产的扩散炉炉体产品说明：

★优质加热丝：KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…

★绝热材料：PMF T2 T3…晶体纤维等

★绝缘子：高纯刚玉

★端口过渡环：氧化铝氧化锆等真空成型。

★控温段：3段、5段、9段控温

扩散炉用途：

★半导体扩散炉烧结炉等

★满足4"-8"圆晶扩散炉"

★完整的产品系列

★进口替代

★先进的材料及制造技术，指标优异