扩散炉的安装应用

扩散炉，LPCVD，氧化炉，退火炉

是专业的卧式扩散炉，氧化炉，退火炉，合金炉和LPCVD炉厂家，扩散炉的安装应用，半导体零部件在全国各地都有大量的安装应用。

产品可处理2“〜8”的基板，每管加工能力可达25,50;根据不同工艺气体和温度控制范围的配置，产品型号可用于LPCVD，扩散和氧化热处理反应过程。

应用

标准半导体技术

·LPCVD氮化硅（标准型）

·LPCVD氮化硅（低应力型）

·LPCVD VLTO（低温氧化）

·LPCVD BPSG（硼磷硅酸玻璃）

·高温氧化

·干燥氧化

·湿氧化

掺杂扩散

高温热回火

扩散炉的安装应用

低温退火和合金化

标准LED技术

·高真空退火（环境可控）

·低温合金/退火

标准PV（太阳能）工艺

·湿氧/干氧

PN结驱动

·氢退火

低温热处理

多晶硅和掺杂多晶硅