青岛育豪供应太阳能扩散炉

◆工作温度： 300~1300℃

◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制

◆恒温区长度： 1080mm（可根据用户要求定制）

◆温区精度 (静态闭管测试)：

600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃

300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃

◆单点温度稳定性(静态闭管测试)：

600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h

300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h

◆温度斜变能力：

最大可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min

最大降温速度(1300～900℃)： 5℃/min

◆气体流量设定精度： ±2％FS

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆自动送料装置行程： ~2000mm

速度： 5~1000mm/min

SiC浆承重 19kg

◆装片数量 400片/管

◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）

◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz；

◆冷却水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min