立式真空扩散炉

可配工艺管数量：

1管系统

净化台洁净度：

100级（10000级厂房） 

气体流量控制： 

均用MFC控制 

送取片方式： 

上下自动升降,采用Sic浆推拉舟 

使用类型： 

4-12寸炉管 

工作温度： 

600～1290℃ 

炉管有效口径:

￠180-500mm

总功率： 

18-55KVA/管   保温功率：8-25KVA/管 

三相五线制： 

380V±10%，50Hz±10%，次级线不小于35平方高温线 

报警:

具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能 

恒温区长度及段数： 

400-800mm（3-5段控温） 

控温精度： 

±0.5℃（≧1000℃） 

单点温度稳定性： 

±1℃/12h

控温方式：

工控机 + PLC控制 + 触摸屏 

热偶类型:

热电偶采用S/R型，每管Spike 4-10支热偶 

最大可控升温范围： 

(500～1300℃)0--15℃/min

最大可控降温范围： 

(1300～500℃)0--10℃/min

工艺气体： 

N2/H2/Ar/O2(可根据工艺要求选配） 

真空机组：

采用直连机械泵+罗茨泵(可根据工艺要求选配） 

冷却水：

压力0.2—0.4MPa

设备总外形尺寸： 

根据设备配置不同,尺寸有所不同