高温扩散炉

一．设备概述：
 高温扩散炉采用电脑工控机软件控制方式，该设备主要在高温1300℃状态下用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、烧结等工艺。设备主要适合于4-6英寸工艺硅片的处理

二．设备主要特点和优势
 1★具有强大的软件功能,友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间；
 2★采用可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化；
 3★程序可以实现手/自动工作，在停电或中途停机后，再次启动可以根据工艺手动升温，节省工艺时间；
 4★具有多种工艺管路，可供用户方便选择；
 5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿，避免环境温度变化，对炉膛温度产生影响，避免层间干扰；
 6★推拉舟控制采用高速脉冲闭环控制，避免马达丢步，运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期，自动校准位置，有效防止定位偏差；
 7★气体流量控制精确，采用模拟信号闭环控制，强弱电分开，各种数据交互采用标准总线，提高抗干扰能力，保证数据安全；气体打开具有缓启动功能；
 8★具有多种报警功能及安全保护功能；
 9★恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度；

三．设备参数类型：

方式：	左/右手操作方式，大工作台面（侧面采用高效净化）
可配工艺管数量：	1-5管系统
净化台洁净度：	100级（10000级厂房）
气体流量控制：	均用MFC控制
送取片方式：	自动推拉,采用碳化硅浆推拉舟,软着陆方式
使用类型：	4-6寸炉管
工作温度：	600～1290℃
炉管有效口径:	￠180-350mm
总功率：	18-35KVA/管保温功率：8-15KVA/管
三相五线制：	380V±10%，50Hz±10%，次级线不小于35平方高温线
报警:	具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能
恒温区长度及段数：	400-1100mm（3-5段控温）
控温精度：	±0.5℃（≧1000℃）
单点温度稳定性：	±1℃/12h
控温方式：	工控机 + PLC控制 + 触摸屏
热偶类型:	热电偶采用S/R型，每管Spike 4-10支热偶
最大可控升温范围：	(500～1300℃)0--15℃/min
最大可控降温范围：	(1300～500℃)0--10℃/min
设备总外形尺寸：	根据设备配置不同,尺寸有所不同

四．主要构成：

1、	设备主机
2、	加热系统
3、	排风冷却系统
4、	排毒箱（和设备主机做为一体）
5、	净化工作台
6、	控制系统
7、	自动碳化硅浆推拉舟机构