程控扩散炉

可配工艺管数量：

1-4管系统

净化台洁净度：

1000级（10000级厂房）

气体流量控制：

均用进口浮子流量计控制

送取片方式：

手动推拉

使用类型：

3-4寸炉管

炉管有效口径:

￠150-190mm

总功率：

15-24KVA/管  保温功率：6-10KVA/管

三相五线制：

380V±10%，50Hz±10%，次级线不小于35平方高温线

报警:

具有超温报警，断偶报警，气体互锁等功能

恒温区长度及段数：

400-1100mm（3-5段控温）

控温精度：

±0.5℃（≧1000℃）

单点温度稳定性：

±1℃/72h

控温方式：

高精度仪表程序控制

热偶类型:

热电偶采用K/S/R型，每管Spike 4-6支热偶

最大可控升温范围：

(500～1285℃)0--15℃/min

最大可控降温范围：

(500～1285℃)0--10℃/min

设备总外形尺寸：

根据设备配置不同,尺寸有所不同

2、

加热系统

3、

排风冷却系统

4、

排毒箱（和设备主机做为一体）

5、

控制系统