青岛育豪微电子设备有限公司
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特色产品
  • 全自动扩散炉
    功能特点: 扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。 ★全中文windows操作界面,可编辑参数,操作方便。 ★可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。 ★工艺曲线的自动运行控制功能。 ★自动运行中可暂停/继续运行功能。 ★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能
  • 程控扩散炉
    产品说明: 扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。 主要技术指标: ★可处理硅片尺寸:2—8英寸 ★外型形式:卧式1—4管结构 ★工作温度:200℃—1300℃ ★恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±
  • 太阳能扩散炉
    ◆工作温度: 300~1200℃ ◆有效口径根据用户扩散片确定,可订制 ◆恒温区长度: 920mm-1350mm(可根据用户要求定制) ◆温区精度 (静态闭管测试): 600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃: ±1℃ ◆单点温度稳定性(静态闭管测试): 600℃<工作温度<1200℃: ±0.5℃/24h
  • 链式焊接炉
    主要用于半导体:二极管、整流桥、集成电路、电力电子器件等在氮气、或氢氮混合气体的保护下进行焊接、封装、退火烘干等工艺。及集成电路金属化管壳等气密性封装,玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行,运载能力大,并采用水、气电转换器控制传感报警及超温保护报警功能。YH-G系列链式炉设有自动点火装置,并有断水报警、断N2报警、断H2报警、点火断报警、停带报警、水温高报警、出料报警等可供用户选择 主要
  • 高温真空烧结炉
    真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺 设备参数: ★管路数:1-3管 ★口径:Φ100mm -Φ350mm (用户自定义) ★工作方式:共用一套加热体,A、B、C管交替工作 ★工作温度:300-1000℃ ★恒温区400mm-1000mm±3℃ ★冷态真空度:5Χ10-4Pa ★真空系统:机械泵+K300扩散泵★阀门:Φ30
  • 扩散炉炉体
    产品说明: ★优质加热丝:KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE… ★绝热材料:PMF T2 T3…晶体纤维等 ★绝缘子: 高纯刚玉 ★端口过渡环:氧化铝氧化锆等真空成型。 ★控温段:3段、5段、9段控温 用途: ★半导体扩散炉烧结炉等 ★满足4"-8"圆晶扩散炉" ★完整的产品系列 ★进口替代
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